電子工業(yè)無塵車間工程

工程介紹

以芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間為代表的電子工業(yè)工程潔凈室（區(qū)）除了對微粒的嚴(yán)格控制外，還對溫濕度的控制、照度（甚至光源要求）微震等要求更嚴(yán)格，消除靜電對生產(chǎn)產(chǎn)品的影響，從而使環(huán)境達(dá)到電子產(chǎn)品在潔凈環(huán)境的生產(chǎn)工藝要求。

潔凈室（區(qū)）的溫、濕度應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定當(dāng)生產(chǎn)工藝無具體要求時，其溫度可按20～26℃，相對濕度30%～70%采用。人員凈化用室和生活用室的溫度可按16～28℃采用。根據(jù)與國際ISO標(biāo)注接軌的中國國家標(biāo)準(zhǔn)GB-50073，這類潔凈室（區(qū)）的潔凈度等級1～9級，其中1～5級，氣流流型為單向流或混合流，風(fēng)速0.2～0.45m/s；6級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)50～60次/h；7級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)15～25次/h；8～9級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)10～15次/h。

根據(jù)現(xiàn)行規(guī)范，電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)

1．電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。

2．電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

3．電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的最大值：

4．補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

5．保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40㎡。

無塵室的送風(fēng)量，應(yīng)取下面三項最大值：

●保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量。

●根據(jù)熱，濕負(fù)荷計算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量。

●向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。

這類潔凈室（區(qū)）有電氣、電子生產(chǎn)潔凈室、電子計算機潔凈室、半導(dǎo)體工業(yè)潔凈室等等。涉及凈化通風(fēng)空調(diào)工程、公用動力系統(tǒng)、電氣工程、照明、電信、消防工程、動力設(shè)備安裝工程、彩鋼板圍護(hù)工程等。