無塵車間，別稱“凈化車間”、“潔凈車間”，就是指把必須范圍之內氣體中的空氣污染物清除，并把溫度濕度、氣旋度、房間內工作壓力、噪聲震動操縱在特殊范圍之內的非常設計構思的屋子。在電子器件和食品企業等應用普遍。今天小編在這給大家說說無塵車間中的冷卻水系統的組成及主要構件。

一、冷卻水系統的組成

冷卻水系統中通常包含儲水箱、循環泵、精密過濾器、板式熱交換器、生產線設備自來水點、離心水泵直流變頻電氣控制系統、溫度感應器、壓差傳感器、液位傳感器、RO補水保濕設備、背壓閥、調壓閥、閥及不銹鋼鋼管等。

二、系統的關鍵構件

1）水泵

水泵須考慮應用總流量和水泵揚程的規定，且重量輕、很輕、工程造價低，有優良的特點和較高的高效率，通常才有離心泵，且互相預留；優良的抗氣蝕特性，即能確保離心水泵運作穩定、長壽命，又能減少運作花費，工程項目項目投資少；離心水泵的本身選用金屬材質，能夠非常好防止對水體將會導致的環境污染。

在安裝時降低進口側耳彎管,閥使進水口順暢，拉高漏水工作壓力，確保自來水管氣密性可合理降低汽蝕的產生；采用必不可少汽蝕余量小的泵浦。

2）熱交換器

換熱器按其方式可主抓殼式，平板式，板翅式，熱列管式等，相相對而言，板式熱交換器具備占地小，熱傳導總面積大的優勢。

涼水下入上有，PCW勤奮下進，使涼水盡可能帶去發熱量，充足開展熱交換器，并根據調整涼水電動調節閥，確保PCW出水量溫度平穩。

3）RO補水設備

補水保濕設備通常由補水保濕管道，儲水箱液位變送器、電動調節閥組以及旁通閥管道構成，儲水箱水位線過低時，液位變送器傳出補水保濕數據信號，電動調節閥打開，RO水進到儲水箱，水位線超過預訂部位時，液位變送器發信號，電動調節閥關掉，補水保濕完畢。

4）過濾裝置

過濾器或過濾系統的挑選，除要考慮到事件管道將會對水體的危害，也要兼具考慮到不一樣工藝技術水體規定的差別。因而，通常挑選為二級過濾裝置，前端開發過濾裝置通常采用5μm，99%過慮規定的不銹鋼過濾器，尾端過濾裝置挑選依據尾端工藝技術的水體規定明確。機殼原材料為不銹鋼加工，過濾芯材料為聚丙稀過濾芯。

5）背壓閥

保持在閘閥前產生必須的工作壓力，工作壓力通常能夠調整。液體進到閘閥后被脈沖阻尼器阻攔，因此液體對脈沖阻尼器造成往上的工作壓力。當工作壓力充足大時，彈黃被縮小，流體力學頂起膜片形成安全通道，從閘閥出入口排出；若流體力學工作壓力不足，就會產生憋壓，來確保管道工作壓力保持在額定值工作壓力下。壓安裝各路支管道智能回水側，以確保此支管道進機器設備的工作壓力。

6）機器設備對接

機器設備機器設備相接處安裝出入水閘閥、氣壓表、控制機、進氣閥、調壓閥、專用型插口；

三、冷卻水的自動控制系統

PCW在半導體廠是個十分關鍵的系統軟件，出現異常會危害生產車間內的絕大多數的生產線設備而造成重大損失，系統自動化技術水平高，對操縱規定較高，包括溫度、工作壓力、水體及其離心水泵的操縱。

 1）供水溫度的操縱

依據工藝技術對供電溫度的要求，對系統供電溫度規定操縱在20℃（依據實際設置），供電溫度根據安裝在供水管道道邊溫度感應器收集，傳送到PLC與運算模塊，操縱冷藏水側電動調節閥打開度調整冷藏水側總流量，進而控制器換制冷量互換，使冷卻循環水超過20℃的設計構思總體目標規定；為保證系統軟件溫度溫度，設定雙攝像頭，且2個溫度值都設定警報值，能夠轉換操縱電動調節閥，一起電動調節閥開啟度也設定警報值。

2）供水壓力操縱

系統軟件再次泵選用交流電機調速操縱，即根據供電工作壓力調整軟啟動器頻率，從而調整供電工作壓力；一起液位傳感器操縱離心水泵出入口端智能回水電動調節閥的開閉，當工作壓力超過預設值(如0.5MPa)時，電動調節閥開啟，以避免系統軟件工作壓力過高，對事件管道特別是在是工藝技術造成危害。

3）變頻泵的操縱

保證無塔供水設備、泵也有儲備機器設備的工作中延續性，即連續運行； 

a.通常用UPS供電系統；

b.當運作泵常見故障或供電工作壓力鐘頭全自動起動預留泵；

c.變頻恒壓供水；

d.對預留泵的起動根據供電工作壓力來操縱，當供電工作壓力小于必須值時起動預留泵。當運作泵出現異常終止時，預留泵直流起動；

e.壓力設定雙探頭，且2個壓力值都設定警報值，能夠互作轉換操縱變頻器。

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